Silikonkarbid (SIC), som ett högpresterande avancerat keramiskt material, används allmänt inom många industriella fält på grund av dess utmärkta fysiska och kemiska egenskaper (såsom hög hårdhet, hög temperaturmotstånd, korrosionsbeständighet, hög värmeledningsförmåga och låg termisk expansionskoefficient) . följande är de fem korta applikationerna av silikighet och låg termisk expansionskoefficient) . följande är de fem korta appliceringarna av silication och lågmätare PLATER och deras detaljerade analys:
Halvledartillverkning och elektronikindustrin
Kiselkarbidplattor används huvudsakligen i halvledarfältet för nyckelkomponenter i skivtillverkningsutrustning, såsom värmaren och elektrostatisk chuck (ESC) av etcher .
Hög temperaturresistens och plasmkorrosionsbeständighet: SIC kan tåla temperaturer upp till 1600 grader och mycket frätande gaser (såsom fluorplasma) i halvledarprocesser, och dess livslängd överstiger långt för traditionella kvarts eller aluminium .}
Hög renhet och låg förorening: Kemisk inerthet säkerställer att det inte finns någon metallföroreningar under skivproduktionsprocessen, vilket är lämpligt för tillverkning av tredje generationens halvledare (som GaN och SIC-chips) .
Termiska förvaltningsfördelar: Hög värmeledningsförmåga (120-270 W/m · k) kan sprida värmen jämnt och förbättra chiputbytet .
Högtemperatur industriella ugnar och värmebehandling
Kiselkarbidplattor är idealiska material för ugnar, skenor och flamsäkra plattor och används ofta vid keramisk sintring, värmebehandling av stål och solcellproduktion .
Långvarig stabilitet: Inte lätt att deformera vid oxidation eller reducerande atmosfärer vid 1400-1600 -graden, och livslängden kan nå mer än 5 gånger den för traditionella eldfasta material .
Energibesparande effekt: Hög värmeledningsförmåga påskyndar värmeöverföring och minskar energiförbrukningen; Låg värmeutvidgningskoefficient (4 . 0 × 10⁻⁶/ grad) undviker termisk chocksprickning.
Applikationsscenarier: Till exempel kräver polykristallina kiselgötsugnar i den fotovoltaiska industrin Sic -plattor för att motstå smält kiselkorrosion och upprätthålla dimensionell noggrannhet .
Kemisk och korrosionsutrustning
Inom den kemiska industrin,kiselkarbidplattoranvänds för reaktorbeläggningar, rör och tätningar för att klara av starka syror (svavelsyra, hydrofluorsyra), starka alkali och högtemperatur och högtrycksmiljöer .
Kemisk inerthet: Sic är nästan oreaktiv inom pH -området 0-14, vilket är bättre än rostfritt stål och hastelloy .
Mekanisk styrka: Böjningsstyrkan når 400-600 MPA, som tål den mekaniska effekten av reaktorn .
Flyg- och högtemperaturstrukturella delar
Kiselkarbidplattor används i raketmunstycken, värmesköldar och gasturbinblad i flyg- och rymd .
Ultrahög temperaturprestanda: Den upprätthåller fortfarande styrka vid 2000 grader, och smältpunkten är så hög som 2700 grader, vilket är lämpligt för framkanten av supersoniska flygplan .
Lätt: Densiteten (3 . 1 g/cm³) är lägre än för volframlegering, vilket minskar belastningen.
Ny energi- och miljöskyddsteknik
Inom området ny energi används kiselkarbidplattor i fotovoltaik, kärnkraft och avfallsgasbehandling:
Fotovoltaisk industri: Som en degelbeläggning för polysilikontillväxtugnar för att minska vidhäftning av kiselmaterial, används Sic keramiska filter för att avlägsna högtemperatur för att avskaffa avfallsförbränning) .}
Kärnreaktorer: Sic neutronabsorptionsplattor kan kontrollera kärnklyftfrekvensen, och deras strålningsmotstånd är bättre än grafiten .
Vätenergi: I protonbytesmembranet (PEM) för väteproduktion genom vattenelektrolys är SiC-plattor syra-resistenta och har utmärkt konduktivitet .
Med utvecklingen av SIC-beredningsteknologi (såsom reaktiv sintring och CVD) reduceras dess kostnader gradvis, och dess appliceringsområden kommer att utvidgas ytterligare till banbrytande fält som kvantdatorer och biomedicin . Silikonkarbidplattor kommer att fortsätta att främja innovation inom högen av högsta tillverkning med deras "Materialgräns".